合肥科晶 2英寸高真空磁控濺射頭（HVMSS-SPC-2 2英寸高真空磁控濺射頭）

產品概述：

HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。

合肥科晶 2英寸高真空磁控濺射頭

特征：

· 采用高質量的不銹鋼和陶瓷材料制作

· 采用電磁場的有元計算法來設計永磁體，以得到較高的磁場強度和均強場分布

· 磁體表面涂有一層保護層，以防止冷卻水的腐蝕，延長其使用壽命

· 標準的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配

· 安裝是采用標準真空接頭，便于操作

更換靶材較為簡單，無需調整濺射頭的高度

所需功率：

• DC（大）1000W

• RF（大）500W

大濺射電流：3A

濺射電壓：100-1000V

濺射時腔體真空度：5-100 mTorr

尺寸：

• 陽極護套直徑：3.5英寸

• 總長度：14英寸

靶材：

• 直徑:2.0英寸(50.8mm)

• 厚度:對于非磁性靶材，大厚度為1/8英寸
  對于磁性靶材，大厚度為1/16英寸

• 靶材利用率：30%

• 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵

需要冷卻水：

• 流速:0.8 GPM

• 進水溫度:<20 ℃

• 水管:0.25" OD.

可選配件：

· 當同時購買300W射頻發射器和2英寸磁控濺射頭時，本公司會贈送一高真空快速接頭

· 此快速接頭的內徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸

循環水冷機，流量為16L / min ，水箱容積為6L

公司簡介：
    森瑪特儀器（北京）有限公司由一群有著共同愿景的實驗室儀器設備*人員創建，秉承“共享共贏"的經營理念。旨在成為中國實驗室儀器和設備行業專業技術和服務。從銷售團隊、運營團隊、市場團隊、產品支持到售后服務團隊，全部受過系統的高等教育、嚴格的產品技術和優良的服務意識的培訓。我們能夠為客戶提供優質的實驗室全套解決方案。
     森瑪特服務于國內眾多國內外企業的研究與發展機構、重大科學研究和試驗發展項目、食品安全體系等。客戶群體遍及高校科研和國內外企業。主營產品涉及于生命科學、環境監測、材料科學、食品安全、理化研究等眾多領域。
     森瑪特儀器-中國好儀器，為客戶提供好儀器，服務中國客戶，同時為客戶提供電子商務服務和網上技術咨詢服務。我們的承諾是：以合理的價格，過硬的質量，快捷的貨期及售前咨詢、售中指導、售后服務，在為廣大客戶提供優質產品的同時，讓您充分感受到現代工業給您帶來的方便和震撼。我們將堅持不懈地探索創新，注重新產品品質，為客戶供應更多的新產品。竭誠歡迎與各界同仁，有志之士進行廣泛的友好合作，實現優勢互補，雙贏共享！